电子行业洁净室的特点

洁净度等级要求高，风量、温度、湿度、压差、设备排风按需受控，照度、洁净室截面风速按设计或规范受控，另外该类洁净室对静电要求极其严格。其中对湿度的要求尤甚，因为过于干燥的厂房内极易产生静电，造成CMOS集成损坏。

洁净度影响因素

洁净室作为一个庞大的净化系统，面积大的同时，还需要划分复杂的功能分区以及相应的缓冲配套间等，共同构成了复杂的送、回风系统。

因此，会导致洁净室的洁净度不合格的因素很多。主要包括：

（1）设计级别与空调布置

洁净室的设计级别与空调布置情况直接关系着洁净室的洁净度等级水平。

（2）施工水平

厂房整体施工质量，空调系统、供气系统、排污系统等保障设备的安装质量与洁净室的洁净度息息相关。

（3）气流组织

若气流组织不合理，则送风气流无法充分笼罩工作区。送、回风口的位置不合理，将会产生较高、较大的涡流，则单向流洁净室的气流偏斜角过大。回风格栅开孔面积布置不合理，则回风速度偏高，回风不畅。

（4）高效过滤器

高效过滤器质量问题或安装问题导致送入洁净室的空气未经过有效的过滤，空气中悬浮的部分尘埃粒子没有被滤除，导致洁净室内洁净度不合格。

（5）换气次数

换气次数不足会导致洁净室内被污染的空气无法快速排出洁净室，过低的换气次数也无法抑制发尘源的污染作用。

（6）静压差

静压差不合格会使洁净室无法阻挡其外部的污染物进入洁净室内。

（7）风淋室

风淋室作为进入洁净室所必需的通道，用来减少进出洁净室所带来的污染问题。因此，它的质量与洁净室的洁净度密切相关。

（8）设备摆放

室内设备摆放位置不合理会影响洁净室内的气流流向不能达到由上至下、由中心至四周的正常流向，造成气流紊乱，令污染物不能有效排出洁净室。

（9）新设备搬入

新设备的搬入过程需将洁净室内环境与外界大气连通。因此，需严格控制设备的搬入时间与搬运安装流程。同时，设备的外包装需经过严格的擦拭清洁后方可搬入。

（10）化学物质

原材料中的化学物质以及生产过程中的衍生物均会产生一定的挥发物，对洁净室的洁净度产生影响。

（11）保洁水平

洁净室清洁不彻底将导致室内积聚污染物，造成卫生死角。

（12）人员与物资运转

洁净室运行过程中，人员和物资的运转很容易在污染敏感的活动周围产生空气紊流，是洁净度的主要污染源。

物资流转量过大，作业人员数量超标，人员洁净服穿着不当等问题，均会造成发尘量超标。

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